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精密多軸直線電機平臺
HCQ三軸精密氣浮運動臺
所屬類別：精密多軸直線電機平臺
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詳細內(nèi)容
產(chǎn)品特點
1、非接觸式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)
2、直驅(qū)直線電機驅(qū)動
3、龍門結(jié)構(gòu)，大理石平臺剛度大穩(wěn)定性好
4、定位精度±0.3um，重復(fù)定位精度±0.1um
5、Z軸采用重力平衡氣缸，確保的運行精度
6、優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)
7、根據(jù)需求可定制化設(shè)計
我司制造的大行程三軸氣浮運動臺用于晶圓激光加工行業(yè)，氣浮非接觸式結(jié)構(gòu)已經(jīng)證明是精密應(yīng)用中的理想選擇。這種結(jié)構(gòu)可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底軸Y軸用于微動調(diào)整步進，微動步距10nm，氣浮結(jié)構(gòu)保證了高直線度。上軸X軸搭載激光用于快速掃描切割晶圓，高平面度指標保證了理想的切割直線，同時能夠?qū)崿F(xiàn)高動態(tài)響應(yīng)和快速位置整定，Z軸采用低摩擦氣缸配重，用于微調(diào)整，氣浮結(jié)構(gòu)有效的提升了垂直方向上的性能，行程可定制。
大理石龍門結(jié)構(gòu)設(shè)計，剛性好，穩(wěn)定性高。大理石基座上可以增加多個Y軸，龍門架X軸行程可定制，提升工作效率。
精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺
技術(shù)參數(shù)：
|
型號 |
HCQ-400-400-150 |
HCQ-500-500-150 |
HCQ-600-600-150 |
|||||||
|
運動軸 |
X |
Y(底） |
Z |
X |
Y(底） |
Z |
X |
Y(底） |
Z |
|
|
行程（mm） |
400 |
400 |
150 |
500 |
500 |
150 |
600 |
600 |
150 |
|
|
重復(fù)定位精度（um） |
±0.3 |
|||||||||
|
分辨率（nm） |
±0.1 |
|||||||||
|
最大速度(m/S) |
1 |
0.2 |
1 |
0.2 |
1 |
0.2 |
||||
|
加速度(g) |
1 |
0.2 |
1 |
0.2 |
1 |
0.2 |
||||
|
直線度(um) |
±0.5 |
|||||||||
|
速度穩(wěn)定性（@v=200mm/S） |
0.01% |
|||||||||
|
負載（KG） |
15 |
10 |
15 |
10 |
15 |
10 |
||||
三軸超精密氣浮運動臺 笛卡爾龍門系統(tǒng)
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