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精密多軸直線電機(jī)平臺(tái)
XYR精密直線電機(jī)平臺(tái)
所屬類別：精密多軸直線電機(jī)平臺(tái)
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詳細(xì)內(nèi)容
XYR精密直線電機(jī)平臺(tái)
特性：
高精度：分辨率0.1um.重復(fù)精度1um，定位精度2um
高速度：直線導(dǎo)軌、峰值速度3m/s 勻速段速度波動(dòng)低于0.10%
高響應(yīng)：特殊設(shè)計(jì)的鏤空花崗石基座和航空鋁連接構(gòu)件，MAX10G加速度，優(yōu)異的加加速度控制
應(yīng)用于：
晶圓光學(xué)探針檢測(cè)、視覺(jué)高精度掃描檢測(cè)、精密3D打印、LED高速焊接、激光加工、平板顯示器制造、高速高精度機(jī)床。
技術(shù)參數(shù)：
|
行程（mm） |
X200 ,Y 400, R360 |
直線度(μm） |
X5 Y5 |
|
重復(fù)精度(nm) |
X±1 ,Y±1(分辨率0.1μm) |
X-Y垂直度（arc-sec） |
±5 |
|
R軸重復(fù)精度(acr-sec) |
±2.5 |
額定負(fù)載(kg) |
10（MAX40） |
|
最大加速度(m/s²) |
X15 Y8 |
X動(dòng)負(fù)載（kg） |
9.48 |
|
勻速速度(mm/s) |
X300 Y500 |
Y動(dòng)負(fù)載（kg） |
46.26 |
|
勻速段長(zhǎng)度(mm) |
X186.5 Y329.69 |
總質(zhì)量（kg） |
92.6 |
|
工作周期(ms) |
X1000 Y1700 |
外觀 |
黑色陽(yáng)極 |
|
導(dǎo)軌類型 |
滾柱or滾柱線軌 |
基座材質(zhì) |
XY花崗石 |
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