隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會(huì)用到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)，微納加工，測(cè)試測(cè)量等，但是它到底有哪一些主要的優(yōu)勢(shì)。
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高直線度和平面度
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高定位精度和重復(fù)定位
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運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn)
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納米級(jí)微動(dòng)步距
氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了最優(yōu)氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著出色的性能精度，實(shí)現(xiàn)最大速度2米/秒，能夠擁有4G的加速度，而且承載的能力也非常的出色，所以在目前的市場上已經(jīng)逐漸得到大家的認(rèn)可，只是當(dāng)我們?cè)?/span>選擇設(shè)備時(shí)，或許也會(huì)存在很多的疑惑，比如說要選擇哪種材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌。
其實(shí)材質(zhì)的選擇是跟用戶的應(yīng)用有著緊密的聯(lián)系，單從性價(jià)比角度了解，碳化硅陶瓷材質(zhì)的氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)精度高，當(dāng)然成本也昂貴，鋁合金與大理石材質(zhì)的同樣性能比較，鋁合金的加工難度大些，成本較高，大理石的成本較便宜些。
利用先進(jìn)的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選擇無鐵芯設(shè)計(jì)，特點(diǎn)是無齒槽效應(yīng)，高動(dòng)態(tài)性能及電流噪音小等，所以在運(yùn)動(dòng)的過程中能夠?qū)崿F(xiàn)超平穩(wěn)的效果，另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及先進(jìn)性的控制系統(tǒng)，獲得高定位精度和重復(fù)定位精度，控制器對(duì)光柵尺最大65536倍細(xì)分，獲得納米級(jí)微動(dòng)步距。
所以從各個(gè)方向的優(yōu)勢(shì)來看，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)已經(jīng)成為當(dāng)前從事高精密應(yīng)用行業(yè)的選擇，能夠提高整個(gè)系統(tǒng)的精度性能。
